PIA|nova®はモジュール方式を採用したソーラーアプリケーション用横型ガラス製膜システムです。このコンセプトによってVON ARDENNEでは、顧客のニーズに合わせて最適な物理蒸着法 (PVD) テクノロジーを使った、薄膜製造装置を提供できるようになりました。
VON ARDENNEは数百台の製膜システム納入を通じて得た、長年の膨大なプロセスノウハウをこのプラットフォームに注ぎ込みました。PIA|nova®は、業界実証済みのテクノロジーと設計方式を組み合わせた、柔軟で生産性の高い最適な製造装置です。
PIA|nova®
ガラス製膜システム
概要
用途: photovoltaics
基板形状: flat/rigid
基板材料: glass
製膜技術: magnetron sputtering down
機能: contact, TCO
成膜層および層構造: Al, AZO, Cu, Ga, In, ITO, Mo
対応コンポーネント & システム：
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software
